協助檢測對焦快速完成，解決各種平面度難對焦的問題。
多維度定位平台MD-ZT ，將 Z、Rx、Ry、Rz 及 Lift-Z 五軸自由度實現於90 mm 高的緊湊結構中，成功解決傳統Z+T軸架構搭配至 XY 平台上，卻又苦無減輕XY負載重量及XYZT層層堆疊而產生高度過高的問題。透過以下特點，提供具備市場競爭力之方案，滿足設備提升需求。
- 奈米級定位 : 適用高階精密檢測，滿足半導體產業對精密檢測的需求。
- 高響應頻寬 : 能夠快速反應並精準控制位移，適用於高動態性能要求的應用場景。
- 結構緊湊 : 節省40%高度空間，大幅降低重心高度，提供更靈活的運動敏捷性。
- 整合關鍵技術 : 透過複合式軟硬體技術的整合，以模組化設計，降低了客戶設備升級的技術限制與成本壓力。