MultiDimensional-ZT

多維度定位平台

多維度定位平台MD-ZT ,將 Z、Rx、Ry、Rz 及 Lift-Z 五軸自由度實現於90 mm 高的緊湊結構中,成功解決傳統Z+T軸架構搭配至 XY 平台上,卻又苦無減輕XY負載重量及XYZT層層堆疊而產生高度過高的問題。透過以下特點,提供具備市場競爭力之方案,滿足設備提升需求。
  •  奈米級定位 : 適用高階精密檢測,滿足半導體產業對精密檢測的需求。
  •  高響應頻寬 : 能夠快速反應並精準控制位移,適用於高動態性能要求的應用場景。
  •  結構緊湊 : 節省40%高度空間,大幅降低重心高度,提供更靈活的運動敏捷性。
  •  整合關鍵技術 : 透過複合式軟硬體技術的整合,以模組化設計,降低了客戶設備升級的技術限制與成本壓力。

±60 nm

奈米級定位

±6 nm

奈米級位置穩定度

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