2026-09-02 資料來源：工商時報 文/沈美幸  攝影／大銀微系統提供

上銀集團旗下上銀科技及大銀微系統兩公司再度攜手，以大銀微系統為主體參加2日登場的SEMICON Taiwan2026國際半導體展，聚焦晶圓定位、奈米級檢測、矽光子應用、薄膜製程與先進封裝自動化，以MD-ZT多維度定位平台即時補正晶圓姿態，提供半導體設備7天24小時 精準長效運作等推出四大關鍵技術成果。新開發整合驅動器及控制器的一奈米定位平台也首度亮相。

大銀微系統目前來自半導體產業訂單持續增長，矽光子檢測設備定位平台4月開始出貨給國內矽光子檢測設備廠商，初期出貨數量個位數，7、8月合計出貨超過數百台，客戶兩次追加訂單，目前矽光子檢測設備定位平台訂單能見度看到明年第二季。還接獲美國Tier 1半導體設備廠後段檢測完整解決方案訂單，大銀微系統結合上銀提供ONE HIWIN Solution。

大銀微系統指出，今年參加SEMICON Taiwan展，主要展出四項技術，一、克服4mm晶圓翹曲5個自由度MD-ZT定位平台進行翹曲補正，解決顯微對焦難題。二、實現±1nm伺服穩定技術達100%檢出率1-Nano驅控器具備±1nm伺服穩定效果，搭配50~100高倍率鏡頭維持影像清晰。三、矽光子耦合損耗<0.5 dB，整合6軸精密微動模組與直流驅動器±5nm控制，提升光耦合效率及尋光對位品質。四、50,000小時MTBF量產可靠度，大銀精密運動技術結合上銀PLP自動化次系統，達到200WPH長時間運轉可靠度，滿足先進封裝及半導體設備穩定產出。

大銀微系統表示，因應半導體晶片製程由圓轉方的新世代演進，310 x 310mm尺寸持續朝515 x 510mm發展，對於異質整合的翹曲挑戰、長行程的累積誤差問題提供解決通案；MD-ZT多維度定位平台，具備5個自由度的精準定位功能，可在晶圓檢測過程即時補正晶圓的姿態變化，有效克服鏡頭對焦問題，提高量測/檢測效率達90%。最新推出的1-Nano驅控器（1-Nano Controller）可實現±1 nm的伺服穩定度技術，搭配高倍率顯微鏡的放大取像，影像清晰穩定，檢出率達100%，成為高階量測與檢測設備的核心。

大銀微系統執行副總經理游凱勝指出，大銀未來會更積極將1-Nano驅控器，整合到現有解決方案。
 

大銀微系統新開發的一奈米定位平台首度亮相，圖為大銀微系統執行副總經理游凱勝。圖／大銀微系統提供