MultiDimensional-ZT

多维度定位平台

多维度定位平台MD-ZT ,将 Z、Rx、Ry、Rz 及 Lift-Z 五轴自由度实现于90 mm 高的紧凑结构中,成功解决传统Z+T轴架构搭配至 XY 平台上,却又苦无减轻XY负载重量及XYZT层层堆叠而产生高度过高的问题。透过以下特点,提供具备市场竞争力之方案,满足设备提升需求。
  •  纳米级定位 : 适用高阶精密检测,满足半导体产业对精密检测的需求。
  •  高响应频宽 : 能够快速反应并精准控制位移,适用于高动态性能要求的应用场景。
  •  结构紧凑 : 节省40%高度空间大幅降低重心高度,提供更灵活的运动敏捷性。
  •  整合关键技术 : 透过复合式软硬体技术的整合,以模组化设计,降低了客户设备升级的技术限制与成本压力。

±60 nm

纳米级定位

±6 nm

纳米级位置稳定度

您正在寻找其他文件吗
前往下载中心查看