协助检测对焦快速完成，解决各种平面度难对焦的问题。
多维度定位平台MD-ZT ，将 Z、Rx、Ry、Rz 及 Lift-Z 五轴自由度实现于90 mm 高的紧凑结构中，成功解决传统Z+T轴架构搭配至 XY 平台上，却又苦无减轻XY负载重量及XYZT层层堆叠而产生高度过高的问题。透过以下特点，提供具备市场竞争力之方案，满足设备提升需求。
- 纳米级定位 : 适用高阶精密检测，满足半导体产业对精密检测的需求。
- 高响应频宽 : 能够快速反应并精准控制位移，适用于高动态性能要求的应用场景。
- 结构紧凑 : 节省40%高度空间大幅降低重心高度，提供更灵活的运动敏捷性。
- 整合关键技术 : 透过复合式软硬体技术的整合，以模组化设计，降低了客户设备升级的技术限制与成本压力。