Linear Planar Servo Motor

平面伺服电机 LMSP

平面伺服电机藉由空气轴承并整合位置传感器,可于单一定子上放置多颗动子。
  • 双轴定位平台
  • 整合位置传感器可作闭回路控制
  • 采用空气轴承故无磨耗
  • 磁场不外漏,不影响周围设备
  • 无温升问题,系统精度相对稳定
  • 可倒吊安装

0.001 mm

重现精度

定子 最大面积

1000x1000mm

0.001 mm

高分辨率

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